技术编号:7549210
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。具有膜的MEMS器件和制造方法背景技术将膜并入的MEMS器件(MEMS=微机电系统)用在多种不同的应用中。示例是麦克风、传感器、电容器、开关以及以无源或有源方式使用柔性膜的其他类型的设备。通常,通过使用平面处理和块微机加工技术在硅或陶瓷基板上制造MEMS器件。这样的技术包括如物理和化学刻蚀、薄膜层淀积、形成导体线、形成通过导管(through-conduct)的步骤以及如抛光和研磨的机械方法。此外,微构造可以包括接合步骤,其中通过各种方法将两个晶片接合在一...
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