技术编号:7550763
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS工艺和器件,并且具体涉及有关换能器的MEMS工艺和器件,该换能器具体是电容式麦克风。背景技术消费电子器件变得越来越小,并且随着技术的发展,日益增长的性能和功能不断增加。这在诸如移动电话、膝上型计算机、MP3播放器和个人数字助理(PDA)等消费电子产品使用的技术中清楚明显。例如,移动电话产业的要求促使这些组件变得越来越小,同时具有更高的功能以及更低的成本。因此,期望将电子电路的这些功能集成到一起,并且将其与诸如麦克风和扬声器等换能器组合。结...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。