技术编号:75512
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种用于扫描探针显微镜的螺旋式扫描方法。背景技术随着基于金刚石刀具的超精密加工技术的不断发展以及以微机电系统 (Micro-electromechanical Systems, MEMS)为代表的微细加工技术的不断进步,具 有特殊功能的三维微结构不断出现,例如高深-宽比微细结构(High AspectRatio Microstructures, HARMS)是 MEMS 和 Microsystems 中最具代表性的特征之一,HARMS 结构 可以使得MEMS及Microsystems的多项性能指标...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。