技术编号:7554945
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电声产品,特别涉及一种MEMS麦克风。背景技术随着电子技术的快速发展,MEMS (微电子机械系统)麦克风以其体积小、便于SMT(表面贴装技术)安装、耐高温、稳定性好、自动化程度高和适合大批量生产等优点得到了越来越广泛的应用。现有技术中的MEMS麦克风通常包括外壳以及与外壳结合为一体的线路板,线路板上设有声孔,在线路板的内侧对应声孔的位置设有MEMS芯片。MEMS芯片为背极板在上,膜片在下的结构,如图5所示,包括基底31,基底31上设有膜片32,膜...
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