技术编号:7557225
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种电容式微硅麦克风,属于微电子机械系统领域。背景技术MEMS技术是近年来高速发展的一项高新技术,它采用先进的半导体制造工艺,实现MEMS器件的批量制造,与对应的传统器件相比,MEMS器件在体积、功耗、重量以及价格方面有十分明显的优势。市场上,MEMS器件的主要应用实例包括压力传感器、加速度计及硅麦克风等。装配麦克风至电路板的自动化表面贴装工艺需经历高温,传统驻极体麦克风(ECM)在高温下会发生电荷泄漏,致使ECM失效,因此ECM的装配只能采...
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