一种具有微镜片阵列的小片的制作方法技术资料下载

技术编号:7594155

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本发明涉及一种小片,特别是涉及一种具有微镜片阵列的小片。背景技术 Huibers的美国专利5,835,256号和6,046,840号,和Huibers等人的美国专利申请09/617,419,每个专利(申请)的主题内容通过参考被结合在此,这些专利(申请)披露了用于控制光束的微机电器件(MEMS),例如在光学开关中,和/或者用于显示器(例如投影显示器)。一个共同的特性是可以移动的微镜片,以便于依靠微镜片元件的倾角通过不同的角度偏转光束。在一种常规的直观显示系统...
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