技术编号:7601648
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及麦克风系统,特别涉及一种宽频带微机械加工的(mircromachined)电容式麦克风系统(下称微电容式麦克风系统)。背景技术日前兴起的电容式微超声换能器(capacitor Micromachined UltrasonicTransducers,cMUT)已成为压电式换能器的一种重要的替代品。它可以提供一组范围更宽的参数来优化换能器的性能,并易于制造及电子集成。这种超声换能器的制造及操作已被众多刊物及专利所揭露。例如,美国专利5,619,4...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。