技术编号:7617720
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件领域,具体地说,本发明涉及。背景技术 硅微电容传声器是一种新型的传声器,它通常由形成硅微电容的硅芯片部分和外围电路部分组成。其中硅微电容芯片部分是传声器的核心,它是利用现代超大规模集成电路工艺,在硅基片上通过复杂的体刻蚀工艺制作而成。硅微电容芯片部分由硅基片及其上的穿孔背板或者说声学孔背板、空气隙、隔离层、保护层、振动膜及金属电极组成。由于其制作工艺的复杂性,随着技术的发展,很多新的结构及其制备方法不断地被提出。已知,在国外P.-C.H...
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