技术编号:7631447
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种微机电系统声音传感器(简称微机电系统传声器或MEMS麦克风),尤其涉及一种微机电系统传声器封装结构。背景技术微机电系统(Micro-electro-mechanical System)硅基声音传感器已经在众多专利文献中被公开过。例如,第5,619,476、5,870,351、5,894,452和6,493,288号美国专利公开了电容式超声传感器的制作方法。而第5,146,435、5,452,268、6,535,460和6,870,937号...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。