技术编号:7636601
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于通信装置、音频装置等中的换能器模块,更具体地讲,涉及一种微机电系统(MEMS)微型硅电容式传声器模块。技术背景近年来,移动通信技术发展迅速。使用移动通信装置的用户日益增 加,这些移动通信装置例如包括蜂窝电话、能够实现web的蜂窝电话、 个人数字助理(PDA)、手持式计算机、膝上型计算机、图形输入板或能 够在公共或专用通信网络上通信的任何其他装置类型。特别是更多的蜂 窝网络的布设以及移动通信技术的技术进步导致更多的客户使用移动通 信装置,这驱使...
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