技术编号:7661983
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。技术背景本发明的实施例涉及一种。图像传感器是一种可将光学图像转换为电信号的半导体器件。这种图像 传感器包括用于将入射光引向光电二极管的微透镜阵列。图像传感器制造过程中需要解决的一个要素是提高将入射光转换为电 信号的速率(例如,灵敏度)。并且对在微透镜阵列中各个邻近透镜之间实 现不存在间隙的零间隙进行了大量的研究和探索工作。然而,在CMOS图像传感器的制造方法中,由于用作与外部信号线信号 连接的焊盘的各层和/或焊盘上的各层之间的应力差,可能在...
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