技术编号：7667677
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于一种微机电(MEMS)麦克风模块与制作方法，特别是有关于 一种增加后声腔体积的微机电麦克风模块与其制作方法。背景技术在配备麦克风的集成电路器件产品方面，对微机电麦克风的需求有扩大的 趋势。举例说，目前全球手机厂商的倾向上，除了通话必需的麦克风需求外， 为摄影功能另外再配备一麦克风，以符合实际使用上的方便。此方面的设计， 目前也慢慢出现在采用微硬盘或闪速存储器(flash memory)的携带型音频和数 字相机产品上，因此微机电麦克风未来有可能在上...
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