技术编号：7672483
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及高功率射频传输中射频源和终端负载的实时自动匹配装置及实现方法。背景技术射频高功率应用中，终端负载，比如天线、射频等离子腔体、射频加热设备等应用。 它们因型号或者使用环境各不相同而呈现不同的负载复阻抗。这样通常与射频功率源的输出阻抗不匹配(一般合格的射频功率源输出阻抗为50 Ω)。这样就必须在信号源和负载间插入匹配网络。最简单也是最广泛应用的是L型网络，如图1所示的jB，jX，它们都是可变电容。在功率源输出端串联一定向耦合器，检测出正向传输功率信号...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。