技术编号：7675073
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及覆盖在半导体技术中使用微加工技术的MEMS芯片的屏蔽 壳。本发明还涉及MEMS传声器(microphone),且更详细而言涉及具有屏 蔽壳的MEMS传声器。背景技术传统上，采用屏蔽壳来保护例如安装在基板上的芯片的电子部件免受来 自外部的电磁波噪声或尘土等。图6示出传统MEMS传声器的外观斜-現图。图7 (a)为传统MEMS传 声器的侧视图。图7 (b)为传统MEMS传声器的平面图。图7(c)为传统 MMES传声器的纵向断面图(沿图6的A-A线的断...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。