技术编号：7679083
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电麦克风领域，尤其是一种将滤波器直接整合在微机电麦克风芯片上的微机电麦克风。背景技术图1所示为现有的微机电麦克风内部组件分布示意图，图中所示现有的微机电麦克风具有一基板10，且基板10上盖设有一盖子11以形成一腔室12，盖子11上开设有一开口 111以连通外界与腔室12，让声音能由外界传递至腔室12内部；再者，基板10上具有一电路布局以供电性连接一麦克风芯片13、一集成电路14及一电容器15，麦克风芯片13接收经由开口 111进入腔室12内的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。