技术编号：7687507
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光通信器件，特别是涉及一种基于狭缝波导的马赫-曾德型硅 光波导开关。技术背景光开关是光通信与光信息处理系统中的重要元器件之一。目前已实现的光开 关包括传统的机械结构光开关、基于微光机电系统开关、液晶光开关、波导型 光开关、半导体光放大器光开关等。其中采用集成光子技术研制的波导型光开 关具有低驱动电压、紧凑结构、大规模阵列和可集成化的优点，是光开关的重 要发展方向。作为40多年来迅速发展的微电子技术的支柱材料，硅材料(主要是SOI材 料)近年来...
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