包括mems反射镜的轮廓传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:77193

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技术领域本发明涉及激光投影系统,更具体地,涉及使用微型机电系统(MEMS)反射镜的结构光轮廓传感的系统和方法。背景技术结构光是将已知像素图案(例如网格或水平条)投射在表面上的处理。当撞击该表面时已知图案的变形允许传感系统确定该表面的轮廓(例如特征的范围或距离)。例如, 结构光可被用于结构光三维(3D)扫描仪。现在参考图1,图1示出根据现有技术的光探测和测距(LIDAR)扫描系统10。 LIDAR系统10测量表面16的轮廓。系统10包括红外(IR)源12、转向镜14、接收镜18以及IR接收器20。顶源12产生顶光束,...
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