技术编号：7722904
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及声学感测器，且特别是涉及电容式声学感测器。 背景技术声学感测器可将声波信号转为电子信号以供各种应用。声学感测器已广泛地应用 于多种电子产品，例如手机、笔记型电脑、数字摄影机、麦克风、及数字录音机等。声学感测 器一般包括相对设置的背板与薄膜结构。当声波传至薄膜结构时，薄膜结构受声波压力变 化影响而改变与背板之间的间距。薄膜结构与背板间的间距变化会造成电容的改变，通过 感测电容的变化便可将所接收的声波信号转化为电子信号。然而，受到制作工艺残留应力的影...
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