技术编号:7735998
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及静电电容式传感器,特别是,涉及使用MEMS (Micro Electro Mechanical System)技术或微型机械技术制作的微小尺寸的静电电容式传感器。背景技术(制作方法)微小尺寸的静电电容式传感器如上所述利用MEMS技术或微型机械技术来制作。 例如现有的静电电容式振动传感器(微型话筒)通过图1(a) (f)所示的工序进行制作。 以下,对该工序进行简单地说明。首先,如图1(a)所示,通过热氧化法使Si基板11的表面氧化,通过热氧化膜(S...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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