技术编号：7754602

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本发明涉及一种MEMS麦克风。 背景技术扬声器和麦克风实质上包括提供声压波与电信号之间转换的可移动振动膜 (diaphragm)或者其他构件。麦克风正在从典型的模拟麦克风变成数字麦克风模块。这些麦克风模块典型地由用微机电系统(MEMQ工艺制造的传感器和模数转换器(ADC)组成。ADC(典型地是西格玛德尔塔型转换器)的输出是向基带处理器输出数据的PDM(脉冲密度调制)流。对于诸如GSM之类的大量市场应用，MEMS提供了传统驻极体电容麦克风(ECM)的一种更加...
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