技术编号:7760699
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造,特别涉及一种面向半导体制造装备功能仿真的 通信协议模式配置方法。背景技术在半导体制造装备领域,设置之间的通信模式可以分为直接10、串口、以太网、 DeviceNet等五种主要类型。控制端通过一定的协议格式把控制命令发送到设备端,设备端 通过一定的协议格式把反馈信息发送回控制端。半导体制造装备领域的设备生产厂家有很 多,每种设备的通信协议是互不相同的,为了实现半导体制造装备平台的通用可配置仿真 系统,需要实现各种设备通信协议的可配置性。...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。