工艺数据的传送方法、装置及系统的制作方法技术资料下载

技术编号:7764796

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本发明涉及半导体工艺处理技术,特别是涉及一种工艺数据的传送方法、装置及系统。背景技术在硅片刻蚀等半导体生产领域中,工艺控制的软件架构包括上层软件和设备端控制软件(也称下层软件)两层上层软件包括工厂软件、先进工艺控制(APC,Advanced Process Control)软件等,其运行在相应的上位机中;设备端控制软件运行在不同的设备端上,负责对硅片的刻蚀工艺进行控制、记录工艺过程中的数据参数、以及将所记录的数据参数传送给上层软件。设备端采集工艺处理过程中...
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