技术编号：7767895
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电子显微镜检查，更具体来说涉及与电子显微镜检查一起使用的检测器系统。背景技术透射电子显微镜(TEM)将电子束透射过纤薄样品并且检测由于电子与样品之间的相互作用而导致的电子束中的改变。电子通常被加速到80到300keV之间的能量。所述加速优选地是通过将电子源保持在高电压下并且将电子朝向处于地电势的样品加速而实现的。偏转器、透镜以及像差校正器可以操纵该束以照射样品。所述样品足够纤薄，以便对于电子来说是部分透明的。由于对电子的透明度取决于元素的原子序数...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。