Mems麦克风的制作方法技术资料下载

技术编号:7783610

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本发明涉及一种MEMS麦克风,尤其是涉及一种防震、抗冲击的MEMS麦克风。 背景技术随着电子通讯产品的快速发展,用户对产品的要求也日益提高,消费类电子通讯产品间的竞争也日益激烈。为了提高产品的竞争力,仅仅注重功能是不够的,产品的可靠性也是一个重要的方面。在消费类电子通讯产品的使用过程中,受到震动是不可避免的。直接作用于麦克风芯片的机械冲击不但会对通话质量产生影响,还会对麦克风芯片造成损害,影响了产品的寿命和性能。而一般的MEMS麦克风封装结构仅仅涉及麦克风...
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