技术编号：7824240
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明公开了一种具有褶皱型振动膜的MEMS麦克风及其制造方法，通过利用具有凹凸表面形貌的介质牺牲层，在其上形成具有对应凹凸褶皱结构的振动膜，使振动膜的内应力得以释放、刚度得以降低，从而提高了麦克风的灵敏度；所述振动膜设有抗粘连凸起结构，可防止振动膜在潮湿环境中与背板粘连在一起；并且，利用背板层次的对准标记进行形成背腔时的对准，无需使用双面对准光刻机，使得制造过程与CMOS工艺更加兼容，确保了麦克风结构的精度，从而实现以简单且一致性高的工艺及较低的成本制造具有高灵敏度的MEMS麦克风。专利说明一种具有褶皱型振...
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