技术编号:7826839
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型公开了一种MEMS麦克风,涉及电声技术领域,包括封装为一体的线路板和外壳,所述线路板和所述外壳围成的空间内收容有MEMS芯片和ASIC芯片,所述MEMS芯片和所述ASIC芯片重叠固定在所述线路板上,所述MEMS芯片位于所述ASIC芯片与所述线路板之间,所述MEMS芯片的膜片靠近所述线路板设置;所述MEMS芯片上设有导电通孔,所述ASIC芯片通过所述导电通孔与所述线路板电连接。本实用新型体积小巧,组装工序简单,生产效率高,生产成本低。专利说明MEMS麦克风技术领域[0001]本实用新型涉及声电技术领...
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