技术编号:7834400
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型属于Fab设备实时监控技术领域,特别涉及一种半导体Fab生产线工艺监控系统。该半导体Fab生产线工艺监控系统包括数据库服务器、以太网交换机、N个Fab监控子系统;所述以太网交换机分别电连接N个Fab监控子系统,以太网交换机的输出端电连接数据库服务器;每个Fab设备监控子系统包括视频采集服务器、POE交换机、多个网络摄像机;每个网络摄像机用于采集晶圆/芯片图像,所述POE交换机用于向每个网络摄像机进行供电,所述POE交换机的信号输入端电连接每个网络摄像机的信号输出端,所述POE交换机与视频采集服务器...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。