技术编号:7837787
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。对共同未决申请案的参考无优先权主张。共同未决申请案包括如下权利要求1.一种静电平行板致动器设备,用于产生一个物理效应,该物理效应的至少一个属性对应于被周期性地取样的一个数字输入信号的至少一个特性,该设备包括至少一个静电平行板致动器装置,每一个致动器装置包括一个导电移动元件阵列,该导电移动元件阵列界定一个第一平面,其中每一单独的移动元件操作而受约束以响应于作用其上的一个单独的第一静电力而沿着一条对应轴线来回交替地行进,其中每一个移动元件具有一个静止位置并且仅被所述第一静电力驱动远离其静止位置;以及至少一个平面电极,该...
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