技术编号:7839199
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域微机电拾音装置技术领域[0001]本实用新型有关于一种拾音装置,特别是一种微机电系统(MEMS)的封装结构的微机电拾音装置。背景技术[0002]拾音装置即为俗称的麦克风,其应用范围甚广,例如,助听器、电子耳、手机、数字相机、免持听筒、笔记本型计算机等皆具有拾音装置。随着制造工艺及封装技术的进步,目前已能利用半导体制造工艺来做出芯片型拾音装置,亦称作微机电(MEMQ拾音装置,以达到轻薄短小、省电、低成本等诉求。[0003]请参照图1,图1为传统的微机电拾音装置的剖视图。传统的微机电拾音装置1主要在基板10上设...
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