技术编号:7843146
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及声电转换器领域,具体涉及一种硅微麦克风。 背景技术终端消费类电子产品的发展,批量的微型声电转换期间如MEMS麦克风(Micro-El ectro-Mechanical-Systems-Microphone),已逐渐应用到消费类电子产品领域。在硅微麦克风的实际应用中,在满足低成本和高性能要求的同时,一般还要求其具有防尘和防水功能,这成为硅微麦克风设计的一个难题。传统的硅微麦克风防尘防水设计可以将进声孔进行小型化设计。这种设计虽然在生产实际具有减少组装工序,但是当声孔设置在硅微麦克风的金属外壳上时...
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