技术编号:7856367
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域实施例涉及麦克风。更具体地,实施例涉及光学麦克风。背景技术许多现有的商业MEMs麦克风通过使用电容传感技术测量电容来感测柔性膜片上的声压力波。为了获得可测量的电容,大多数MEMs麦克风典型地需要尺寸至少为I.5mmX I. 5mmX 1mm 的膜片。此外,为了容纳内部放大器,通常大多数MEMs麦克风需要额外的面积。用于容纳内部放大器所需的额外面积的量典型地取决于内部放大器的复杂性。 从MEMs麦克风正常输出的电压信号电平通常需要被增强,以便达到在与环境噪声相关联的电压信号电平之上的足够高的电平(例如,毫伏)...
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