技术编号:7864869
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及传声器技术领域,特别地,涉及一种MEMS传声器。背景技术MEMS麦克风是米用微机电系统(Microelectromechanical Systems,MEMS)工艺制作的microphone。其中,麦克风又称传声器。这种新型麦克风内含两个芯片一MEMS芯片和专用集成电路(ASIC)芯片,两枚芯片封装在一个表面贴装器件封装体中。MEMS芯片包括一个刚性穿孔背电极和一片用作电容器的弹性硅膜。该弹性硅膜将声波转换为电容变化。ASIC芯片用于检测电容变化,并将其转换为电信号输出。MEMS麦克风与传统电容式...
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