技术编号:7865239
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种麦克风,具体的说,涉及一种电流、灵敏度可调的两端MEMS麦克风,属于麦克风技术领域。背景技术麦克风即传声器,是将声音信号转换为电信号的能量转换器件,也称话筒、麦克风或微音器,分类有动圈式、电容式、驻极体和新兴的MEMS麦克风,此外还有液体传声器和激 光传声器。目前,市面上的MEMS麦克风为三端器件,所述三端分别为电源端VDD、接地端GND和信号输出端V0UT,如图I和图2所示,三端MEMS麦克风包括电连接的微电容传感器MEMS、偏置电压供电电路VBAIS和专用集成电路ASIC,微电容传感器ME...
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