技术编号:7892896
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种电容式硅微麦克风与集成电路单片集成的方法及集成电容式硅微麦克风与集成电路的芯片。背景技术麦克风是一种将声音信号转化为电信号的换能器。电容式麦克风的基本结构包括作为电容一极的振动膜和作为电容另外一极的背极板,当声音信号作用于麦克风,声压导致振动膜发生形变,进而引起振动膜与背极板之间的电容变化,此电容变化可由后续的处理电路转化为电信号。其中背极板的刚性在保证电容式麦克风的良好频率特性以及低噪声等方面至关重要。近年来,MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System,微电机系...
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