技术编号:7905291
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种麦克风,具体说是涉及一种应用MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems,微机电系统)工艺制作的MEMS声电转换芯片的硅麦 克风。背景技术随着手机、笔记本、助听器等电子产品对内部零件的尺寸要求越来越小, 大量尺寸较小、品质较好的硅麦克风被应用,这种麦克风内部设置有应用MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems,微机电系统)工艺制作的MEMS声电转换芯片,芯 片外部进行封装。一种传统的硅麦克风封装是利用一个线路板基板和一个金属...
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