具有附加背腔的硅电容式传声器的制作方法技术资料下载

技术编号:7905775

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技术领域本实用新型涉及硅电容式传声器,更具体地是关于具有附加背腔的硅电容式传声O背景技术通常,广泛用于移动通信终端或音响等的电容式传声器包括偏置电压元件;形 成随音压(sound pressure)而变化的电容器(C)的膜片/支撑板;以及,用于缓冲输出信 号的场效应晶体管(JFET)。这种传统方式形成的电容式传声器以如下方式制造在一个 外壳内依次插入振动板、垫片、绝缘环、支撑板、导电环之后,最后安装已组装有电路元件的 PCB后,将外壳的末端向PCB侧弯曲而完成装配体。另一面,最近作为为实现微装置的集成化而使用的技术...
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