技术编号：7909992
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种微声学器件及其制作方法，尤其涉及一种用于微麦克风和和扬声器的四周夹固振膜结构的微声学器件的结构设计及其制作方法。压电材料具备力电耦合特性，能够实现力信号和电信号的相互转换。利用压电材料，借助微机械的加工工艺，采用与标准CMOS(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor)工艺相兼容的制作流程，可以实现结构简单、高性能、集微麦克风和扬声器功能于一体的压电声学器件。中国发明专利申请(申请号00105555.0)提出了一种用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构及其制...
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