技术编号:7916578
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法。 背景技术最近,作为搭载于携带电话等上的麦克风,使用通过MEMS (Micro Electro Mechanical Systems微电子机械系统)制造的、Si (硅)麦克风等 MEMS传感器。图3A 图31是按照工序顺序模式表示以往的Si麦克风的制造方法的 剖面图。参照图3A 图3I来说明以往的Si麦克风的制造方法,并且说明 其结构。以往的Si麦克风101的制造时,首先如图3A所示,通过热氧化处理 在Si晶片W2的整个面上形成Si02 (氧化硅)膜1...
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