技术编号：7942423
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种麦克风及其制造方法，更具体地说，涉及一种应用微机电加工制程来制造芯片的。背景技术 在日本特开平11-331988号“微机电加工驻极体电容麦克风”、特开2000-165999号“微机电加工驻极体电容麦克风”，及特开2001-69596号“微机电加工驻极体电容麦克风的制造法及微机电加工驻极体电容麦克风”等三个日本专利申请案中，公开的技术特征在于以微机电加工来完成麦克风芯片的前段部分制作，再通过现有麦克风的加工方法制成，即在完成前段部分制备的芯片上连接一振动膜，以制作出麦克风的驻极体电容，由于，该部...
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