技术编号:7943783
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及。 背景技术在作为图像传感器之一的CMOS固态摄像装置中,通常通过对诸如 黑电平基准像素部及外围电路区等需要避免光的入射的区域使用金属布 线或滤光器来实现遮光。具体地,如果在形成金属布线时形成用于实现遮光的膜,则由于实 际上应用了CMOS逻辑处理,故用于需要避免光的入射的区域的遮光膜 形成为与布线层相同的高度。以下将参照图19描述在形成多层布线部中的铜布线的步骤中形成黑 电平基准像素部的遮光膜的示例,图19是相关技术中的CMOS图像传感 器的示意性剖面图。如图19所示,相关技术中的CMOS图像传感...
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