技术编号:7955386
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种微型电容式传声器,尤其涉及固体电容式结构微型传声器。背景技术 传声器又称为麦克风,是声电系统的一个组成部分,将声音信号转换为电学量的传感器件。传声器在助听、信息安全、噪声控制、语音识别、无线通讯、消费类电子等领域具有很高的市场需求。基于硅加工技术的微型传声器具有体积小、抗振性好、低成本等优势,可以将传声器应用扩展到传统传声器很难进入的微观领域。微传声器的基本形式有场效应晶体管(FET)结构、压电式结构、压阻式结构、电容式结构(包含需外加偏置电压的电容结构以及进行预充电的驻极体电容式结构)、光学...
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