技术编号：7957730
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及声电转换器领域，具体涉及一种硅微麦克风。 背景技术终端消费类电子产品的发展，使得越来越多的声电换能器件得到广泛的应用。在声电转换技术领域中，硅微麦克风，即MEMS麦克风(Micro-Electro-Mechanical Systems-Microphone)，是一种采用硅为原材料，将电子和微机械集成为一体微细加工技术集成的MEMS声电转换芯片的声电转换器件。较传统的电容式微型麦克风，MEMS麦克风以其尺寸小，高性能，可耐高温回流焊，和大规模制造低廉的成本优势，已逐渐渗透到消费类电子产品领域。传统结...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。