技术编号：7960955
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种在微观结构内表面提供疏水层的方法，尤其涉及在电容式麦克风内表面，用于消除或防止所述内表面之间发生粘滞作用。背景技术 在微电子机械系统(MEMS)装置的制造以及操作中，发生故障很普遍的原因是由于装置内表面之间的粘着而造成的，例如在一个运动表面和一个完全静止表面之间。这种现象称作粘滞作用。粘滞作用很可能发生在微观结构中，尤其在1-3μm的尺度范围内相对更高，这是由于表面与体积比率的增加以及直接导致粘滞作用的表面压强相应地变高。粘滞作用可以在生产过程中(例如运行中)或之后发生，微观结构卸压后，其上的...
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