技术编号：7966512
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种，尤其涉及一种可使微机电 麦克风达到縮小体积与尺寸的封装结构与封装方法。背景技术美国专利号第6,781,231号的"具有环保和防干扰屏蔽的微机电系统封装"专 利案，其揭示的封装结构有一基板，于基板上焊设有一呈杯状的盖体，该盖体是由 外杯体与内杯体组合而成，以形成电磁波的屏障。而其缺点在于，其盖体周侧形成 有环形侧壁由此形成容室，如此造成整体封装体积过大的缺点，无法达到轻薄化的 要求。有鉴于上述现有技术结构的缺点，本发明提出一种微机电麦克风封装结构与方 法，其可克服上述现有技术结构的所有缺点。发...
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