技术编号:7995985
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明涉及一种,包括如下步骤S1提供具有正面和背面的衬底;S2在衬底的正面淀积绝缘材料以形成第一绝缘层;S3在第一绝缘层上形成背极板;S4在背极板上形成若干声孔;S5在背极板上淀积绝缘材料以形成第二绝缘层,在第二绝缘层上形成振动体,于振动体上形成若干通孔;S6形成金属压焊点;S7在衬底上形成背腔,背腔自衬底的背面朝正面延伸并贯通衬底;以及,S8去除部分第一氧化层以露出背极板,去除振动体和背极板之间的部分第二氧化层,且未去除的第二氧化层形成用以支撑振动体的密封环,所形成的密封环和背极板、振动体围设形成腔体。专...
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