技术编号:7997451
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明公开一种图像传感器的检测和标定装置,包括一光源,用于提供一光束;该光束经过第一光栅、一透镜和第二光栅后发生干涉;该干涉图像经该图像传感器采集,根据该干涉图像检测并标定该图像传感器,其特征在于,该第一光栅的周期等于该第二光栅的周期乘以该透镜的3倍率。本发明同时公开一种图像传感器的检测和标定方法。专利说明 技术领域 [0001] 本发明涉及集成电路装备制造领域,尤其涉及一种图像传感器的检测和标定装置 及方法。 背景技术 [0002] 图像传感器能够实现光信号到电信号的转换,从而广泛应用于航空航天和...
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