技术编号：8010216
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型属于恰氏法(Czochralski Method)单晶炉等径提拉生长单晶的一种装置，包括浮力提拉和浮筒式电子秤二部分。本实用新型已有技术提拉部分通常用蜗轮、蜗杆和齿轮等机械结构，缺点是造价高、振动大。中国科学院声学研究所施仲坚的发明专利“浮力提拉单晶炉”(中国专利号ZL85100701)，其主要构件为容器、浮箱、微电机、软轴及二维调节导向机构等，该种结构虽然简单和造价低，但提拉的爬行量大。电子秤部分W.Bardsley提出的上称重法机械式电子秤(J.Crystal Growth 16，〈1972...
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