通过液相外延生长的m的制作方法技术资料下载

技术编号:8010684

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技术领域本发明涉及一种通过液相外延制成的新型光波导,它包括在MTiAs1-(a+b)Pa+bO5基片上的M1-XNXTiAs1-aPaO5膜。长期以来,磷酸钛氧钾(KTiOPO4)一直被认为是供多种重要的光学和电光学用途使用的理想材料。光通讯系统的基本元件是光波导,它发送光波或者将光波从一个地方导向另一个地方,用来联结集成光路中的各个部件。美国专利4766954(Bierlein等人,1988年8月30日授予专利权)公布了一种用于制造光波导的离子交换方法,具体作法是,使K1-XRbXTiOMO4(式中X是0至1,M...
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