技术编号:8011434
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种表面电离型溅射离子源中的电离器。表面电离型溅射离子源中的电离器是利用高功函数金属表面热电离技术使原子电离,产生离子。公知的电离器是用钽管绕成螺旋圈,管内有与钽管绝缘的电热丝,通电加热,螺旋圈为热表面,其内表面为有效离子发射面。由于螺旋圈的内表面不是平面,而且螺旋圈匝间有间隙,因此发射面不是连续平面。对比文献《Improvements in ANIS and inverted sputter sources》,B.A.Strasters et al.,NUCLEAR INSTRUMENTS ...
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