技术编号:8013986
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种用于电弧放电蒸发器的磁场阴极,它具有扁平结构的靶体和一个附加于靶体的、具有至少一个环形线圈和一个永久磁铁的装置,用于产生一个使电弧保持在靶体表面的磁场。对应用于电弧敷膜技术中电弧放电蒸发器的磁场阴极提出的要求主要是,均匀的靶体侵蚀,电弧稳定性,长期稳定性及避免在运行过程中出现靶体的毒化。在实践中特别关键的靶体毒化,是以比较厚的甚至用肉眼可以清楚看到的沉淀形式出现在靶体或大或小的表面区域内,其中在出现这种毒化表面区域的情况下,在靶体上移动的电弧会避开这些区域,并且导致靶体的毒化进一步加剧形成这类...
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